Микроэлектроника - Andreas Hofer Hochdrucktechnik

Мембранные компрессоры Hofer для силана

Силан является промежуточным продуктом при производстве высокочистого силикона, который используется, например, при изготовлении микрочипов. Чтобы этот ядовитый и самовоспламеняющийся газ не попал в окружающую атмосферу, необходимо применение газоплотного компрессора, работающего без утечек.

Мембранные компрессоры Andreas Hofer герметичны по отношению к внешней среде. Вся газовая камера компрессора имеет металлические, статичные уплотнения. Без особых усилий достигается степень натекания 10 -4 мбар л/с, а при применении специальных модификаций - 10 -8 мбар л/с.

Для избегания утечек через периферийные устройства, Hofer изготавливает всю трубную обвязку, арматуру и инструменты в сварном исполнении. Все детали, контактирующие с газом, изготавливаются из специальных сплавов.


Контакт

Запросите дополнительную информацию или создайте индивидуальное предложение.

> Обратная связь

Дополнительная информация

> Мембранные компрессоры Hofer


Для оптимизации сайта применяются файлы cookie. Используя веб-сайт, Вы соглашаетесь на использование файлов cookie. Подробнее
Принимаю